Studi Karakterisasi XRD Pada Material CNT Melalui Variasi Tegangan Hot Wire

Abstrak

Analisis XRD menggunakan software search-match telah dilakukan pada material Carbon Nanotube (CNT). Analisis tersebut bertujuan untuk mengetahui senyawa yang terbentuk di permukaan substrat. CNT berkatalis Ag yang ditumbuhkan diatas substrat kaca preparat (SiO₂) dideposisi melalui metode HWC-in plasma VHF PECVD dengan variasi tegangan hot wire. Ditemukan senyawa  yang terbentuk pada permukaan substrat berturut turut pada tegangan 2,6 V, 4 V dan 6 V yaitu C₆₀(TiCl₄)₃, C₆₀Br₄Cl₄(TiCl₄), serta C₆₀S₁₆.  Dari ketiga jenis tegangan yang digunakan terlihat adanya senyawa C₆₀ yang merupakan salah satu dari struktur fullerenes. Sedangkan unsur lain yang terbentuk pada hasil senyawa merupakan puritas yang diperkirakan diperoleh dari sisa gas sebelum proses deposisi. Dari ketiga tegangan hot wire dalam deposisi, dihasilkan CNT dengan teganan 2,6 V yang merupakan tegangan hot wire terbaik. Hal ini disebabkan karena puncak dengan intensitas tertinggi berada pada posisi  yang terdekat dari database CNT.